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真空系統(tǒng)多種多樣,但基本構(gòu)成大致相同。了解真空系統(tǒng)的基本構(gòu)成,不僅有助于設(shè)備操作,對(duì)于自己組裝真空系統(tǒng)也有極大的參考性。
真空系統(tǒng)的壓力比周圍的大氣壓低,因此必須要有一個(gè)密封的容器。這個(gè)容器被稱為真空腔。要使真空腔內(nèi)成為真空狀態(tài),必須使用排氣泵來排氣。
為了知道真空腔內(nèi)的壓力,在真空腔上安裝一個(gè)真空計(jì)(Vacuum Gauge)。為了在排氣泵停止時(shí)也能保持真空腔內(nèi)的壓力,在排氣泵和真空腔之間設(shè)置一個(gè)閥門。真空腔的蓋子受內(nèi)外壓力差被緊緊吸在真空腔上。因此要打開蓋子時(shí)首先要通過放氣閥門往真空腔內(nèi)導(dǎo)入氣體,以使內(nèi)外壓力均等。同時(shí)為了防止轉(zhuǎn)輪泵的油倒流,轉(zhuǎn)輪泵停止時(shí)在吸氣口一側(cè)要開放成大氣壓狀態(tài)。為此,在吸氣口附近也需要一個(gè)放氣閥門。
要達(dá)到10-6Pa的真空度時(shí),設(shè)備的構(gòu)成為圖C所示。分子泵TMP不能在大氣壓狀態(tài)中運(yùn)行。因此要和轉(zhuǎn)輪泵結(jié)合進(jìn)行兩個(gè)階段的排氣。首先由RP 泵從大氣壓狀態(tài)到10Pa左右進(jìn)行階段排氣,此時(shí)的真空度有Pirani(皮喇尼)真空計(jì)確認(rèn)。保持RP泵的運(yùn)行狀態(tài)然后再啟動(dòng)TMP,真空泵的壓力由在真空狀態(tài)下可以使用的電離真空計(jì)來監(jiān)控。
以上是真空探針臺(tái)淺談?wù)婵障到y(tǒng)的構(gòu)成。
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