真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測(cè)法，真空計(jì)檢漏法。

一、氦質(zhì)譜檢漏

在真空檢漏中有許多使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣體系及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振動(dòng)，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互磕碰使其電離成正離子，這些氦離子在加快電場(chǎng)效果下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力的效果下偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而形成了圓弧形軌道，改變加快電壓可使不同離子經(jīng)過(guò)磁場(chǎng)和接納縫到達(dá)接納極而被檢測(cè)到。其間呢，噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種辦法。

二、真空封泥檢測(cè)法

用真空泥封住可疑的漏點(diǎn)，此時(shí)要注意觀察真空度的變化，如果貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又會(huì)下降，這說(shuō)明便是一個(gè)漏點(diǎn)哦。但是，這個(gè)辦法在實(shí)踐檢測(cè)中用的比較少。

三、真空計(jì)檢漏法

部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，例如電離真空計(jì)，熱偶計(jì)。用氣體或許液體做示漏物質(zhì)，這些真空計(jì)就成了探測(cè)器，一般鍍膜機(jī)上都會(huì)有真空計(jì)，在實(shí)踐使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計(jì)的示漏物質(zhì)有二氧化碳，丁烷，酒精等，熱偶計(jì)的反響比較慢，要仔細(xì)觀察。用于電離計(jì)的示漏物質(zhì)主要有氦，氬，酒精等。

以上就是實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)為您科普的真空腔體加工常見(jiàn)的檢漏方法