實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中泄漏檢測(cè)與排除的技術(shù)方法

實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中的泄漏檢測(cè)和排除是確保系統(tǒng)正常運(yùn)行和結(jié)果準(zhǔn)確的關(guān)鍵步驟。下面將介紹幾種常用的技術(shù)方法。

一、氦質(zhì)譜法

氦質(zhì)譜法是一種常用的泄漏檢測(cè)方法。該方法利用了氦氣具有低密度、低可燃性和極低的背景濃度的特點(diǎn)。在檢測(cè)前首先將實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中的氣體抽空，然后將氦氣注入系統(tǒng)中。通過(guò)檢測(cè)氦氣的泄漏情況來(lái)確定系統(tǒng)中的泄漏位置。

氦質(zhì)譜法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以檢測(cè)到極小的泄漏量。同時(shí)，該方法可以準(zhǔn)確確定泄漏的位置，并且可以用于檢測(cè)復(fù)雜系統(tǒng)。但是該方法的設(shè)備較為昂貴，需要專(zhuān)用儀器和設(shè)備。

二、質(zhì)譜泄漏探測(cè)器

質(zhì)譜泄漏探測(cè)器是一種基于質(zhì)譜原理的檢測(cè)方法。該方法通過(guò)探測(cè)系統(tǒng)中的氣體成分來(lái)確認(rèn)泄漏情況。常見(jiàn)的質(zhì)譜泄漏探測(cè)器有質(zhì)譜計(jì)和質(zhì)譜檢漏儀。

質(zhì)譜計(jì)是一種可以連續(xù)監(jiān)測(cè)氣體成分的儀器。將質(zhì)譜計(jì)連接到實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中，通過(guò)監(jiān)測(cè)氣體成分的變化來(lái)確定泄漏位置和程度。

質(zhì)譜檢漏儀是一種專(zhuān)門(mén)用于檢測(cè)氣體泄漏的儀器。該儀器在檢測(cè)前首先將實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)抽空，然后將氣體注入系統(tǒng)中。通過(guò)檢測(cè)系統(tǒng)中的氣體成分變化來(lái)確認(rèn)泄漏位置和程度。

質(zhì)譜泄漏探測(cè)器的優(yōu)點(diǎn)是可以對(duì)多種氣體進(jìn)行監(jiān)測(cè)，并且可以檢測(cè)到微小的泄漏量。但是該方法的設(shè)備較為昂貴，需要專(zhuān)用設(shè)備和儀器。

三、肖特基二極管法

肖特基二極管法是一種基于電子原理的泄漏檢測(cè)方法。該方法通過(guò)測(cè)量肖特基二極管的電流變化來(lái)確定系統(tǒng)中的泄漏情況。

在實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中安裝肖特基二極管，在泄漏檢測(cè)前首先將系統(tǒng)抽空。然后通過(guò)外加電壓制造空氣中的電離電流，同時(shí)測(cè)量肖特基二極管中的電流變化。通過(guò)電流的變化可以確定泄漏位置和程度。

肖特基二極管法的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、使用方便，并且可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泄漏情況。但是該方法的靈敏度相對(duì)較低，只能檢測(cè)到較大的泄漏量。

四、壓力衰減法

壓力衰減法是一種簡(jiǎn)單直觀的泄漏檢測(cè)方法。該方法通過(guò)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的壓力變化來(lái)確定泄漏情況。

在檢測(cè)前首先將實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)抽空，并記錄系統(tǒng)的基準(zhǔn)壓力。然后關(guān)閉系統(tǒng)，觀察一段時(shí)間內(nèi)系統(tǒng)中的壓力變化。通過(guò)壓力的衰減情況可以確定泄漏的位置和程度。

壓力衰減法的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單，使用方便，并且可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泄漏情況。但是該方法的靈敏度相對(duì)較低，只能檢測(cè)到較大的泄漏量。

總結(jié)起來(lái)，實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中的泄漏檢測(cè)和排除的技術(shù)方法有：氦質(zhì)譜法、質(zhì)譜泄漏探測(cè)器、肖特基二極管法和壓力衰減法。不同的方法有不同的優(yōu)缺點(diǎn)，實(shí)驗(yàn)室可以根據(jù)實(shí)際需求和經(jīng)濟(jì)條件選擇適合的技術(shù)方法進(jìn)行泄漏檢測(cè)和排除。