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不同的真空泵在實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中所起的作用
因?yàn)楦鞣N各樣真空泵的其性能除均能能滿足對(duì)容器通過(guò)抽真空的共同合作點(diǎn)之外，尚具有獨(dú)特相同之處。因而在選用時(shí)要明確的泵在真空該系統(tǒng)中所承擔(dān)的任務(wù)任務(wù)后是非常重要的的泵在各種各樣相同任務(wù)市場(chǎng)領(lǐng)域中所起的起到總結(jié)歸納起來(lái)主要原因有如下幾個(gè)方面。
1該系統(tǒng)中做主泵
所謂主泵就是對(duì)真空該系統(tǒng)被抽容器直接把通過(guò)抽真空，以獲能滿足工藝其要求所需真空度的真空泵。
2粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓就大大降低真空該系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣該系統(tǒng)也可以就任務(wù)的真空泵。
3前級(jí)泵
前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
4繼續(xù)維持泵
繼續(xù)維持泵是指那真空該系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能夠能有效的借助主要原因前級(jí)泵。為此，真空該系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的其他輔助前級(jí)泵來(lái)維持主泵的正常地任務(wù)或繼續(xù)維持已抽空的容器所需的高低壓的真空泵。
5粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指從大氣開(kāi)始，大大降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。
6高真空泵
高真空泵是指在高真空規(guī)模任務(wù)的真空泵。
7超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空規(guī)模任務(wù)的真空泵。
8增壓泵
增壓泵一般指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提升抽氣系統(tǒng)在中間位置壓強(qiáng)范圍的抽氣量不足或大大降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。真空探針臺(tái)
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