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真空腔體管道設(shè)計(jì)原理
當(dāng)為工藝選擇真空泵時(shí)，工藝室和泵之間的泵送管道可能與泵的選擇一樣重要。為了獲得高泵送速率，需要直的泵送管(短長(zhǎng)度)和直徑盡可能大的管。真空腔
看似簡(jiǎn)單，但這里要考慮的因素很多。其實(shí)如果從物理角度考慮，就能明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔
在穩(wěn)態(tài)條件下，如果泵送管道中沒有氣源(泄漏)或氣體減少(凝結(jié))，泵送管道任意截面的質(zhì)量流量必須相同。簡(jiǎn)單地說，進(jìn)入處理室的氣體必須被抽出。
在某種程度上，短粗的管道是好的。
使用短且大直徑的泵送管道來盡可能地提高管道傳導(dǎo)率是一種良好的做法，但僅當(dāng)泵送速度S接近泵送速度(Sp)的極值時(shí)。
另外，通過增加管徑來增加電導(dǎo)(成本也會(huì)相應(yīng)增加)并不能顯著提高工藝室的抽氣速率；換句話說，如果泵送管道的電導(dǎo)是有限的，并且由于物理因素而不能增加，當(dāng)(S)接近管道電導(dǎo)(C)的極值時(shí)，通過增加應(yīng)用泵速來增加工藝泵速是不經(jīng)濟(jì)的。
那么答案是什么呢？
管道應(yīng)盡可能短。
所用管道的直徑至少等于泵入口法蘭的直徑。
盡量減少彎頭數(shù)量。
考慮到管道傳導(dǎo)率(C)和泵速(Sp)的應(yīng)用，一個(gè)變量比另一個(gè)變量大三或四倍是不經(jīng)濟(jì)的。實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)
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