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真空探針臺淺談如何降低真空系統(tǒng)的漏氣率?
真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和漏氣率的關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是否合理,將直接影響真空系統(tǒng)的密封性和漏風(fēng)率。
1、盡量避免小曲率半徑的死角,要平滑過渡,檢查剎車杯的拋光、清洗和清潔情況。
2.與真空室相連的管道,如抽空管道、輸氣管道等,采用圓弧過渡,使氣路通暢,但要考慮清洗的方便性。
3.精心設(shè)計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu),使氣路暢通,避免氣路堵塞。
4.打磨和拋光真空系統(tǒng)的內(nèi)表面。表面越亮,氣體吸附越困難,越容易獲得真空。
5.最小化真空室的體積,縮短管道系統(tǒng)。
實驗室真空系統(tǒng)密封形式的選擇
密封形式可根據(jù)要求的真空度和實際工作需要選擇。
水冷后密封部分溫度在80℃左右,部分部位溫度可達(dá)100℃以上)。因此,選擇理想的密封圈材料是十分必要的。
用于真空密封的橡膠材料不僅要求表面光滑、無劃痕和裂紋,而且要求透氣性和放氣率低、耐熱性和耐油性好,真空系統(tǒng)要有一定的強度、硬度和彈性。
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