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真空探針臺(tái)淺談真空系統(tǒng)的檢漏方法、
1. 真空檢漏基本概念
所謂漏氣是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從高壓流向低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。
主要有以下幾點(diǎn):
虛漏.氣密性.漏孔.漏率.Z 小可檢漏率.檢漏靈敏度.反應(yīng)時(shí)間.消除時(shí)間.漏孔堵塞現(xiàn)象
2. 漏氣的判斷方法
1）真空泵工作是否良好
2）真空系統(tǒng)內(nèi)是否存在嚴(yán)重放氣
3）真空系統(tǒng)容器壁或間隙處是否漏氣
4）是否漏氣與放氣現(xiàn)象共存
3. 真空檢漏法
1）可動(dòng)部分：傳動(dòng)軸及其密封部分
2）玻璃或陶瓷一類的易損部分
3）波紋管
4）使用法蘭和墊圈的密封部分
5）焊接部分的裂痕處
4. 真空檢漏技巧
1）對(duì)于正在加工制造過程中的真空容器或裝置來說，采用氣泡檢漏法
2）對(duì)于正在使用過程中的真空容器或裝置來說，似乎沒有損壞，但現(xiàn)壓強(qiáng)急劇上升時(shí)，首先用點(diǎn)著的真空規(guī)和作為漏液體的酒精或丙酮，檢查認(rèn)為容易損壞的地方。
3）若盡管做了上述種種努力還是找不到漏孔，則要用罩子法或壓強(qiáng)上升法來判斷是否漏氣。實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)
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