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真空閥門是指百閥門內(nèi)腔為真空狀態(tài),通常叫負壓,內(nèi)腔壓力低于大氣壓,用于真空管道系統(tǒng)的閥門,有真空球閥,真空蝶閥,真空隔膜閥等。介質(zhì)為高純度。
球閥、度閘閥、截止閥等等均能生產(chǎn)成真空閥和普通常規(guī)閥門。從外形上無區(qū)別,在閥門連接部位設(shè)計上是有分別的,只是細節(jié)上的問題。
實驗室真空系統(tǒng):真空閥門相對于正壓閥門具有下列特點:
壓力低于大氣壓,而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的問工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。
對這類閥門Z基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料答的致密性。
按介質(zhì)壓力真空閥回門可分成四組:
1)低真空閥門:介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空閥門:p=1×10-3 毫米汞柱。
3)高真空閥門:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
4)超高真空閥門:p≤1×10-8 毫米汞柱。
真空閥門廣泛采用答的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制,但大通徑來說,可用的還有球閥、柱塞閥和蝶閥。
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