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真空腔體講解一下真空系統(tǒng)的組成
實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)實(shí)際上是真空裝置的類似名稱。真空機(jī)組是由幾臺(tái)真空泵組成的一套閉環(huán)真空設(shè)備。它不一定有散熱器、冷凝器之類的一些設(shè)備。一般來(lái)說(shuō)，能稱之為真空系統(tǒng)的就是各種零件齊全。真空應(yīng)用設(shè)備有很多種，但無(wú)論是哪種真空應(yīng)用設(shè)備，都有一套抽氣系統(tǒng)來(lái)排除被抽真空容器內(nèi)的氣體，從而在真空容器內(nèi)獲得所需的真空條件。例如，用于真空處理的容器通過(guò)管道和閥門與真空泵連接。當(dāng)真空泵抽空容器時(shí)，容器應(yīng)該具有真空測(cè)量裝置，這構(gòu)成了非常簡(jiǎn)單的真空泵系統(tǒng)。
那么真空系統(tǒng)相對(duì)于機(jī)組有多少臺(tái)泵呢？這個(gè)不確定。先來(lái)了解一下可能泵的名詞解釋。
(1)主泵:在真空系統(tǒng)中，用來(lái)獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵，就是主泵。
(2)前級(jí)泵:用于保持某臺(tái)真空泵的前級(jí)壓力低于其臨界前級(jí)壓力的真空泵。例如，設(shè)置在羅茨泵前面的旋片泵或滑閥泵就是前級(jí)泵。
(3)粗抽泵:在大氣壓下開始抽氣，將系統(tǒng)壓力抽至另一臺(tái)真空泵開始工作的真空泵。例如，真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵就是原油泵。
(4)維護(hù)泵:在真空系統(tǒng)中，氣體體積很小，不能有效利用前泵。為此，配置了一臺(tái)小容量的輔助泵，以保持主泵工作。這個(gè)泵叫做維護(hù)泵。如果擴(kuò)散泵出口裝有小型旋片泵，則為維護(hù)泵。
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