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1. 真空檢漏基本概念
所謂漏氣是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從高壓流向低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。
主要有以下幾點:
虛漏.氣密性.漏孔.漏率.較小可檢漏率.檢漏靈敏度.反應(yīng)時間.消除時間.漏孔堵塞現(xiàn)象
2. 漏氣的判斷方法
1）真空泵工作是否良好
2）實驗室真空系統(tǒng)內(nèi)是否存在嚴重放氣
3）真空系統(tǒng)容器壁或間隙處是否漏氣
4）是否漏氣與放氣現(xiàn)象共存
3. 真空檢漏法
1）可動部分：傳動軸及其密封部分
2）玻璃或陶瓷一類的易損部分
3）波紋管
4）使用法蘭和墊圈的密封部分
5）焊接部分的裂痕處
4. 真空檢漏技巧
1）對于正在加工制造過程中的真空腔體或裝置來說，盡量采用氣泡檢漏法
2）對于正在使用過程中的真空容器或裝置來說，似乎沒有損壞，但現(xiàn)壓強急劇上升時，首先用點著的真空規(guī)和作為漏液體的酒精或丙酮，檢查認為容易損壞的地方。
3）若盡管做了上述種種努力還是找不到漏孔，則要用罩子法或壓強上升法來判斷是否漏氣
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