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真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則

2021-09-10 10:29:09

為一個工藝選擇真空泵時,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。真空腔體看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學(xué)角度考慮,就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。實驗室真空系統(tǒng)

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言,進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來。

在某種程度上管道短而粗是好的。

采用短的大直徑抽氣管道盡量提高管道流導(dǎo)是不錯的做法,但只限于當(dāng)抽氣速度S接近泵速(Sp)極值的情況。

除此之外,通過增加管道直徑(成本也會相應(yīng)增加)來增加流導(dǎo)并不能顯著提高工藝室抽氣速率;換而言之,如果抽氣管道流導(dǎo)受限并且由于物理因素不能增加,當(dāng)(S)接近管道流導(dǎo)(C)極值,一味通過增加應(yīng)用泵速來提高工藝抽氣速度也是不經(jīng)濟(jì)的。真空腔體

那么答案是什么呢?

管道盡可能短。

采用的管道直徑至少等于泵入口法蘭的直徑。

盡量減少彎頭數(shù)目。

考慮管道流導(dǎo)(C)和應(yīng)用泵速(Sp),一個變量的值大于另一個值的三四倍是不經(jīng)濟(jì)的做法。


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