低/高真空系統(tǒng)的獲得方式有哪些

2021-06-25 11:41:48

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低真空的獲得

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹，從而獲得真空的裝置。真空系統(tǒng)

它可以直接在大氣壓下開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉(zhuǎn)速及空腔體積V的大小有關(guān)，一般在每秒幾升到每秒幾十升之間。

高真空的獲得

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴散現(xiàn)象來抽氣的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定的預(yù)備真空度（1.33-0.133Pa）。真空系統(tǒng)

油擴散泵的極限真空度主要取決于油蒸汽壓和氣體分子的反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。抽氣速率與結(jié)構(gòu)相關(guān)，每秒幾升--幾百升不等。實驗室真空系統(tǒng),真空腔體,真空探針臺

實驗室真空系統(tǒng),真空腔體,真空探針臺

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