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高真空恒溫測試系統(tǒng):
1、內(nèi)部保持 -5℃~+45℃任意溫度的恒溫維持。
2、頂部真空驅(qū)動,分別有粗調(diào)和微調(diào)兩個功能,微調(diào)精度±0.005mm
3、內(nèi)部配有高精度前后左右微動功能,精度±10納米,最 大微動距離10mm(具體距離要求可根據(jù)需要設(shè)計)
4、極限真空-5Pa
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